等離子體是一種高度電離氣體，其中包含正、負(fù)離子和自由電子，能量十分充足。可以通過(guò)多種方式產(chǎn)生，如弧放電、輝光放電、放電等離子體、微波放電等。等離子體具有高溫、高密度、高化學(xué)活性和強(qiáng)烈的輻射等特性。
等離子處理機(jī)運(yùn)用了等離子體的特性，在特定條件下通過(guò)高頻交流電源來(lái)產(chǎn)生等離子體，然后將等離子體按照一定的方式引導(dǎo)到材料表面進(jìn)行處理。可以通過(guò)電離氣體產(chǎn)生高能電子，從而激發(fā)氣體分子與材料表面發(fā)生反應(yīng)，形成新的化學(xué)鍵或者改變表面晶體結(jié)構(gòu)，達(dá)到提高材料硬度、耐磨性、降低摩擦系數(shù)等效果。主要用于提高材料表面的耐腐蝕、耐磨損、附著力和界面黏合力等性能。通過(guò)等離子體所帶有的高能量、高電荷密度、高反應(yīng)活性和局部加熱作用，實(shí)現(xiàn)表面處理。在等離子體作用下，表面原子或分子被剝離、氧化、還原或聚合等反應(yīng)，進(jìn)而形成新的碳?xì)滏I和鍵鏈結(jié)構(gòu)，從而改變材料表面物理和化學(xué)性質(zhì)。
| 等離子處理機(jī)PLUTO-MH參數(shù)： |
| 真空腔尺寸 | 316不銹鋼腔體，q210mm*230mm（約4L） |
| 電極尺寸 | 兩個(gè)自適應(yīng)平板電極，材質(zhì)T6061鋁合金（可提供特氟龍包覆無(wú)孔平板電極， 合需要雙面處理樣品） 125*125mm間距20-75mm 可調(diào)（可反轉(zhuǎn)） |
| 等離子體發(fā)生器 | RF射頻發(fā)生器，頻率：13.56MHz；自適應(yīng)阻抗匹配電源 |
| 功率 | 0-500W連續(xù)可調(diào)，精度1W |
| 氣體控制 | 針式氣體流量閥，標(biāo)配1路氣體，全不銹鋼管道和連接件 |
| 控制方式 | 4.3寸工業(yè)控制觸摸屏
控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)，可顯示設(shè)置值與實(shí)際值，便于實(shí)時(shí)控制。可自由設(shè)置等離子功率，通入氣體時(shí)間多級(jí)操作權(quán)限，多種工藝參數(shù)組合控制，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制可選 |
| 保護(hù)裝置 | 一鍵急停保護(hù)按鈕 |
接下來(lái)介紹等離子處理機(jī)的具體操作步驟：
1.先將要進(jìn)行處理的材料進(jìn)行清潔，以確保無(wú)附著物影響處理效果。然后將材料置于處理室內(nèi)，并關(guān)閉氣密門。
2.為了產(chǎn)生等離子體環(huán)境，需要對(duì)處理室進(jìn)行真空處理，使其中的氣壓達(dá)到一定的范圍。這樣才能避免由于氧氣、水蒸汽等氣體的存在對(duì)處理效果的影響。
3.通過(guò)引入不同種類的氣體，可以控制等離子體的成分和特性，如氮?dú)獾瓤稍鰪?qiáng)材料表面的硬度，氫氣等則可使材料透明。加入氣體的方法包括導(dǎo)流和噴漿兩種。
4.高頻電源通過(guò)鎢絲等電極，在處理室內(nèi)產(chǎn)生高頻電場(chǎng)，從而引出等離子體。
5.根據(jù)不同的工藝要求和材料特性，通過(guò)調(diào)整電場(chǎng)、氣態(tài)分布和處理室溫度等條件，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的處理。
6.工作結(jié)束后的清理。處理結(jié)束后，需要關(guān)閉高頻電源并排放處理室，然后取出處理后的樣品進(jìn)行分析評(píng)價(jià)。
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